GOOD 科技誌

隨著半導體代工與LCD面板製造業等市場需求提升，真空設備Drypump真空泵浦被大量運用於醫療、化工、機械、半導體製造業等。使用者常常困擾泵浦發生的培林端漏油、泵浦卡粉等問題，導致泵浦提前損壞。所以使用者會將到達運轉預定時數的真空泵浦一律通通送交保養，其中可能也因此為了保養良品造成了不必要的浪費。 ＃Drypump真空泵浦 ＃半導體製造業  以半導體製造為例，真空泵浦為爐管的重要元件，內含轉子電機、魯氏泵浦等。雖然原廠會提供相關的監測系統，但功能僅涵蓋壓力、流量、溫度及電流，無法真正瞭解泵浦健康狀況。即便使用者將設備送交保養，設備回廠後也僅以電流作為驗收依據，無法切確了解保養成效。 了解真空泵浦的健康狀態  固德推出真空泵浦品質檢測解決方案，幫助使用者了解真空泵浦的健康狀態。監測目的在於1.預防真空泵浦在預定保養時間前提前老化，造成運作效率不良的問題。2.預防因為泵浦卡粉，造成機械損壞造成卡死甚至無預警停機。3.預防培林端漏油、劣化，導致泵浦提前損壞。4.運轉中的良品延長工作時數，拉長定期保養時間，有數據化的降低運轉維護成本。5.送交保養的回廠設備是否有達到保養需求規格，確保委外的保養效益。 機械異常頻譜特徵-檢出實績Ⅰ:機械鬆動特徵 機械異常頻譜特徵-檢出實績Ⅰ:角度式不對心特徵 機械異常頻譜特徵-檢出實績II:孔蝕現象 機械異常頻譜特徵-檢出實績III:機械摩擦＋鬆動特徵 三種規範同步監測 ISO、BROAD BAND、SOA（Spectrum Overall Value）三種規範同步監測，內建ISO規範，利用ISO10816管理轉子機械振動品質評估，並將結果判定分為優良、正常、警告、危險。讓使用者可藉此評鑑轉子部件健康狀態，來提升維護以及預知保養的工作。BROAD BAND數值管理確認設備振動基準值，根據不同機械種類分類（馬力、馬達與負載連接形式、轉子種類、剛性或饒性結構，使用該種類指定之特定頻寬，並濾除頻寬內特定頻段，依需求將規定振動物理量之振幅以0-PEAK、Peak to Peak、RMS值呈現，SOA振動量超過基準值判定設備狀態，還可藉由FFT振動頻譜特徵了解各種損壞部位與機械異常原因。 泵浦檢出狀態:利用FFT振動頻譜特徵，找出各種損壞部位與原因 長時間

智能化正快速滲透在生活中，從居住環境到工業製造，而AI人工智慧的技術透過海量的大數據經由深度學習後，正開始幫助人類加速翻轉生活態度與營運模式。但對於製造業，仍然是有一定的困難度。雖然業者都知道要順應數位轉型，引進自動化系統結合AI運算，但是由於IT資訊科技與OT開發安全標準持相反立場，所以就往往導致製造業的升級停滯。 要導入自動化刺激產業進步，要因應不同製造商的各種廠牌製造設備而作的品質提升，又要加上智慧化系統功能，再加上可以遠端控制，一層又一層的程序運算模式，已經讓業者消耗荷包和心力，所以也都抱著觀望的態度，並不是因為缺乏整合和方向，而是製造業環境比你想像的更複雜繁瑣。當遇到機台設備發生錯誤，業者只能被動的叫修，或是依靠定期保養合約作無所謂的浪費維護。 固德所提供的IIOT，以LORA傳輸方式及MQTT通訊協定，將資訊完整保留於本地主機，由企業內部自行管理。也可選擇上傳至私有雲或雲端主機，依照企業需求自由搭配。藉由運算完感測器資料傳回主機端並搭配自動判別技術，即時顯示環境或設備狀態，並視環境因素如遇障礙物或延長傳輸距離可另外增設中繼站，確保資料續傳不掉點。即時發現與糾正問題，更可藉此省下時間與金錢。 ＃智能化加工生產線 ＃物聯網  有效的保養是預知機台老化趨勢及掌握健康狀態  設備如何判斷正常或異常，目前仍是透過振動檢測判別機台設備各部件狀態。如若能更清楚機台設備的健康狀態，就能有效預防停機的狀況及延長機台設備的壽命。就像與其生病才看醫生，不如提早預防增強抵抗力。現在只要搭配感測技術，安裝在各部件上，透過振動檢測分析即可判別機台設備零件是否異常，更可以進一步知道設備老化磨損的趨勢。唯有透過長期監測、了解設備狀態，才能夠全面檢視首要問題與規劃解決方案。 身為使用者我們絕對無法防止機台損壞的發生，但如何透過提前的檢知量測，來延長機台的壽命與維持機台運轉品質，並在適當的時間提出維修保養計畫都是我們身為製造端機台使用者必須嚴肅面對並且學習的課題。因為唯有對製造工具有十足的掌握度，才會更有餘力設計更精良的製造流程與參數，因而持續提供品質優良且穩定的產品。 ＃監測 ＃預知機台老化趨勢 ＃延長機台的壽命 技術變化太快，以人為本的策略是唯一途徑 不要認為花大錢作全廠智能化規劃，就能達到好的效果。特別是中小企業，需要先釐清