GOOD 科技誌

  隨著 CoWoS、CoPoS 等先進封裝技術發展，Wafer 承載的製程成本與價值持續提高，除了製程本身，搬送過程中的品質風險也不容忽視。從 OHT 天車、軌道、Wafer Robot 到突發地震，任何異常振動、衝擊或動作品質變化，都可能增加高價值 Wafer 的潛在風險。 AMHS，不只是搬送效率，更關係晶圓搬送品質 在高度自動化的半導體 Fab 中，AMHS（Automated Material Handling System）串聯 Stocker、OHT 與各製程設備，負責 FOUP 在不同站點間的自動搬送。當 Wafer 價值持續提高，AMHS 管理的重點也不再只有 搬得快、送得到、不中斷，更需要關注整段搬送過程是否穩定。 從 OHT 天車狀態、Track 品質、Wafer Robot 動作，到突發地震造成的設備震動，都可能成為搬送過程中難以察覺的品質變因。 CoWoS、CoPoS 時代，晶圓價值持續提高 AI、HPC 帶動先進封裝快速發展，從 CoWoS 到 CoPoS，封裝尺寸與整合程度持續提升，並整合先進製程晶片、Chiplet、HBM 等高價值元件。製程越往後，Wafer 累積的材料、設備、製程與時間成本越高。一旦發生刮傷、Particle、碰撞或破片，損失的不只是晶圓本身，更可能是前面多道製程累積的高額價值。 Wafer 越昂貴，每一次搬送就越不能出錯。 隨著先進製程與高階封裝技術發展，Wafer 價值持續攀升，每一次搬送都伴隨更高風險。從 OHT 天車、軌道、晶圓傳送手臂到突發地震，任何微小異常都可能造成晶圓碰撞、刮傷甚至整批損失。 製程管得很嚴，搬送過程呢？ 一片 Wafer 在不同製程間，需要經歷： FOUP → OHT → Stocker → Equipment → Wafer Robot → Chamber OHT 軌道異常衝擊、FOUP 搬送震動、Robot 微震或定位偏移，都可能增加 Wafer 搬送風險，而且這些異常不一定會立即觸發設備 Alarm。 因此，先進封裝的品質管理不應只關注製程參數，更需要掌握 Wafer 從上一站到下一站的搬送品質。 高價值 Wafer，更需要保護每一次移動。

  現在，製造業正面臨一個很現實的問題：那些聽得懂設備聲音的人，正在退休。 而更大的問題是，新的工程師，已經沒有過去那樣的成長環境。當製造業面臨缺工與老師傅退休，工廠最大的風險，開始不再只是設備故障，而是「經驗流失」… 製造業正在面臨的經驗斷層危機 在很多工廠裡，都有一種很神奇的人。設備還沒警報，他就知道哪裡不對。空壓機聲音一變，他就知道可能漏氣。泵浦震一下，他就知道軸承快不行了。Chiller 電流一飄，他就知道冷卻效率開始下降。這些老師傅，很多時候甚至不需要看數據。他們靠的是十幾年、二十幾年累積下來的「經驗感覺」。那是一種很難被量化的能力，而這種能力，在過去很長一段時間裡，支撐著許多工廠穩定運轉。 但現在，製造業正面臨一個很現實的問題：那些聽得懂設備聲音的人，正在退休。 而更大的問題是，新的工程師，已經沒有過去那樣的成長環境。以前，一位新人可能會跟著老師傅學三到五年，慢慢累積現場經驗，理解每台設備的脾氣、聲音與運轉特性。但現在的工廠節奏越來越快。產線不能停、交期不能等、人力持續吃緊。新人往往還沒真正熟悉設備，就已經開始獨立負責現場。 於是，很多工廠開始出現一個現象：設備越來越智慧，但真正懂設備的人，卻越來越少。而新進人員，越來越少有時間能慢慢累積經驗。 過去一位資深工程師離職，可能只是少一個人力；但現在很多情況是，一位老師傅退休，工廠就像突然少了一部分「判斷能力」。因為設備雖然還在，資料也還在，但真正知道那些數據代表什麼的人，卻越來越少。 這也是為什麼，近年越來越多企業開始重新思考： 當經驗無法被快速複製時，能不能透過數據，把老師傅的判斷能力留下來？ 經驗流失造成工廠的設備風險? 過去工廠最重要的資產，可能是機台；但現在，很多企業開始發現，真正珍貴的，其實是那些存在於老師傅腦中的經驗。因為很多異常，在真正故障之前，其實早就已經出現徵兆了。只是過去能看懂的人，越來越少。因為真正的異常，往往不是「壞掉」，而是有一點點異音、耗電慢慢增加、負載開始偏移、振動頻率微幅變化、溫度比平常高一點點。 這些早期徵兆，不容易被一般巡檢發現。尤其在半導體、石化、金屬加工等產業，設備數量龐大，工程師根本不可能長時間盯著每台設備看。結果就是：等到真正發現異常時，往往已經變成突發停機、良率下降、能耗暴增、生產中斷、維修成本大幅增加甚至可能...

  在產線運作正常、設備無警報的情況下，品質卻開始出現波動。本案例以晶圓雙刀切割機為對象，透過振動分析發現，關鍵不在異常，而在於設備在靜止狀態下的微幅不穩。顯示高精度製程中，設備穩定性比是否故障更為關鍵。   設備持續運轉、產線沒有停，工程師照常巡檢，看起來一切都在控制之中。這是一條典型的晶圓切割製程產線，雙刀切割機持續以高速運轉，主軸維持在高轉速（約 30,000–40,000 rpm ），切割節拍穩定，產出數量也符合排程。如果不是被提醒「最近產品品質有些波動」，這其實就是一個再平常不過的生產日。   也正因為「看起來沒問題」，反而讓事情變得棘手。沒有異常警報、沒有停機紀錄，也沒有明顯的設備故障跡象。主軸負載穩定、進給速度正常、切割深度與刀徑補償參數也都在設定範圍內；設備端所有監控數據，幾乎都顯示在「健康區間」。唯一的線索，只是來自後段檢測的回饋 —— 品質開始出現不穩定，例如崩邊比例上升、切割面粗糙度變差、局部尺寸偏移。 這次的任務很直接：確認設備狀況，釐清是否與品質波動有關。但實際執行時，困難點不在於檢查，而在於「沒有明確方向可以查」。 最難處理的，不是壞掉的設備 而是「還在運轉但已經不穩」的設備   對現場工程師來說，設備壞掉反而容易處理。以晶圓切割機為例，一旦出現主軸異常振動、電流過載、刀片破損或切削阻力異常，設備通常會立即觸發警報甚至停機。這類問題具備明確的特徵訊號，無論是振動頻譜、負載變化或切削聲音，都能快速定位，對應的維修與更換流程也相對成熟。 但真正讓人頭痛的，是設備沒有報錯、沒有停機，甚至產能看起來還維持得不錯，卻開始影響產品品質。 在晶圓切割製程中，影響品質的關鍵並不只在「是否切得動」，而在於切割過程中的 應力控制與穩定性 。只要出現微小變化，例如：刀具磨耗不均、主軸微幅偏擺或高頻振動、雙刀間同步性產生微小偏差、基座或載台剛性下降等，就可能導致切割應力分佈不一致。   而這些變化有一個共通點： 不會立即超出設備警報門檻   但卻會在產品上逐步放大，例如：崩邊增加、微裂紋風險提升、切割面粗糙度惡化、 Die  尺寸一致性下降。   這種問題最麻煩的地方在於，它是「漸變的」，而不是「突發的」。良率不會瞬間掉下來，而是從 99% 慢慢滑到 97% 、 95% ，等到被發現時...

  Posted On : 20 Mar.. 2025   ESG  不僅關乎環保，企業若只專注於省電省水，卻忽略設備健康管理，那  ESG  只是一種表面功夫。當設備突發故障時，任何一個環節出現問題，都可能導致連鎖效應。

  Newsletter 25002 5分鐘搞懂振動監測：提高設備壽命的關鍵技術 Posted On : 26 Feb. 2025 為什麼要為設備進行振動監測？振動監測有哪些關鍵指標？線上監測與巡檢量測哪種方式更適合您的設備？

  Newsletter 25001 設備健康，被忽略了？ 固德科技報 ｜設備健康，被忽略了？ #PHM Posted On : 15 Jan. 2025 您是否也曾經在深夜接到設備停機的通知，焦急地聯繫維修團隊？您是否感到困惑，為什麼明明剛維修過的設備又出現了問題？ 設備運行穩定性已成為企業的關鍵核心 您在意廠區產能嗎？在意產線良率嗎？你有沒有想過，廠內那些看似正常運轉的機械設備，是否其實隱藏著潛在的故障風險？隨著智慧製造的快速發展，設備運行穩定性已成為企業的關鍵核心。然而，我們的傳統維護方式是否真的足夠？ 在智慧製造的時代，生產過程的自動化程度越高，對設備運行穩定性的要求也越來越嚴格。尤其在半導體、石化廠、精密加工等產業， 設備的健康管理直接決定了生產效率與安全性 。然而，傳統的設備維護方式是否真的跟得上現代需求嗎？ ＃PHM ＃智慧製造 ＃生產效率 事實上，許多企業對於設備健康的認知還停留在「被動維修」的階段，設備出問題了才採取行動。但這樣的方式往往導致不可估量的損失。試想一下， 如果我們能夠提前了解設備的運行狀態，甚至預測它可能會出現的問題，這是否會徹底改變您的生產策略？ 固德科技的 AI 智慧監測技術正是基於這樣的需求誕生的。 透過結合預知保養（PHM）與可靠性中心保養（RCM）， 設備能告訴您它的健康狀況，甚至您可以了解何時需要維修、避免非計劃性的停機，甚至節省大筆維護費用。固德幫助企業從「被動維修」轉向「主動預防」。這並不是未來，而是現在！ 廠區常見問題：我們到底輸在哪裡？ 每位工業現場的管理人都知道，設備的穩定性對於生產有多麼重要。然而問題在哪？以下是我們經常聽到的聲音： 「設...

  在目前全球日益凸顯的節能減排重要性下，ISO 50001 標準成為企業能源管理的關鍵指南。 這項國際標準目的在於幫助組織有效管理能源、提高能源效率，並持續改善能源效能。在台灣，工業用電一直佔據重要比例，因此在2050年實現淨零排放的目標下，政府預計於 2025 年將大型用電企業中至少 50% 納入 ISO 50001 管理體系。對於能源管理，您已做好準備了嗎? #ISO 50001 #節能減排 ＃能源管理 ＃碳淨零   ISO 50001的重要性? ISO 50001 作為一項國際標準，對企業實施能源管理系統提出了一系列要求和指導。它不僅有助於企業合乎於能源相關法規，還能幫助企業有效控制能源成本、降低溫室氣體排放、提高競爭力和企業形象。 實施效益 能源效率提升： ISO 50001提供了一個系統性的方法來管理能源，幫助企業識別和實施節能機會。透過評估、監控和優化能源使用，企業可以降低能源消耗，提高能源效率。能源效率的提升也代表設備效率的提升，在使用一樣的能源範圍下，而達到更好的效率。 降低能源成本： 有效管理能源，能夠避免無效的能源浪費。這不僅能體現在能源使用的節省上，還能減少能源使用而產生的相關成本，如生產成本、設備維護成本等。電費不斷攀升，透過抓出耗電設備、實施節能手段，進而降低電費。 遵循相關法規： 遵循ISO 50001標準有助於企業符合相關的法規要求和環境管理的最佳實踐。這有助於降低可能因不符合法規帶來的罰款或其他法律風險。例如：透過實施有效的管理電能，能夠避免因為超過需量的超約罰款。 提升企業形象： 綠色議題在國際間依然是趨勢，許多投資者會審視企業是否有執行ESG永續計畫。透過ISO 50001認證，表明企業重視能源管理和環保，有助於提升企業形象和品牌價值、增加顧客、投資者和利益相關者的信任。 提高生產效率： 藉由了解使用能源方式，企業可以透過設計優化排程，改進生產流程，調整產線用電方式或製程時間，更進一步增加產線產能、產線稼動率提升等。設備也能透過預測或預知保養等手段，讓設備使用壽命最大化。 減緩氣候變遷： 藉由碳盤查能夠幫助企業了解碳排量，藉此降低能源消耗，減少二氧化碳等溫室氣體的排放，有助於企業履行社會責任，保護環境、減少與能源相關的溫室氣體排放，幫助企業實現減碳排並減緩全球氣候變遷，也能夠降低碳相關成本。 ISO50001驗...